高精度测高仪
518系列—高精度2D测量系统
高精度2D测量系统的特点
带0.1/0.4μm分辨率，重复精度的指示精度可高达(1.1+0.6L/600)μm。
保证正面的垂直度达5μm，直线度达4μm。
全/半空气起浮系列可调节气垫高度。
通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，可完结外部测量数据评估。
高精度2D测量系统的性能参数：
货号
518-351DC
型号
LH-600E
测量范围（行程）
0-977mm（600mm）
最小显示量
0.0001/0.001/0.01/0.1mm（可以选择）
指示精度
(1.1+0.6L/600)μm L是任意长度
重复精度
平面：0.4μm，孔9μm
直角度
5μm（补正后）
直线度
4μm（机器精度）
导向方式
滚动式轴承驱动
驱动方式马达驱动器
（5，10，15，20，25，30，40mm/s）手动
测长系统
反射型线性编码器